Šiuolaikiniame puslaidininkių gamybos procese plokšteliniai robotai, kaip viena iš pagrindinių įrenginių, atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį. Wafer robotai daugiausia naudojami plokštelių tvarkymui, rūšiavimui ir apdorojimui, o jų tikslumas ir efektyvumas tiesiogiai veikia bendrą puslaidininkių gamybos efektyvumą ir išeigą. Vaflinio roboto struktūra ir veikimo principas yra tokie:
Struktūra
1.Robotinė ranka: vaflinių robotų robotų ranka paprastai suprojektuota su keliomis ašimis, kad būtų pasiektas didelis judėjimo laisvės laipsnis. Įprasti robotų rankų tipai yra SCARA ir Dekarto robotai.
2. Galinis efektorius: tai dalis, kuri tiesiogiai liečiasi ir sugriebia plokštelę, paprastai suprojektuota kaip vakuuminis siurbtukas arba mechaninis tvirtinimas, siekiant užtikrinti, kad plokštelė būtų stabili ir nepažeista tvarkant.
3. Judesio valdymo sistema: įskaitant servo variklį ir pavarą, kuri naudojama roboto rankos judėjimui valdyti, siekiant užtikrinti tikslią padėties nustatymą ir sklandų veikimą.
4. Jutiklis: naudojamas aptikti plokštelės padėtį, dydį ir būseną. Įprasti jutiklių tipai yra fotoelektriniai ir lazeriniai jutikliai.
5. Valdymo sistema: įskaitant valdiklį ir programinę įrangą, skirtą programuoti ir valdyti roboto veikimą. Valdymo sistemos dažnai integruoja pažangius algoritmus, kad būtų galima optimaliai planuoti kelią ir ištaisyti klaidas.
Kaip tai veikia
1.Inicijavimas ir padėties nustatymas: robotas per jutiklius nustato savo ir tikslinės plokštelės padėtį. Valdymo sistema inicijuoja roboto rankos padėtį ir paruošia ją atlikti valdymo užduotį.
2. Paimkite plokštelę: pagal valdymo sistemos nurodymus roboto ranka juda į vietą, kurioje yra plokštelė. Galinis efektas sugriebia plokštelę per vakuuminį siurbtuką arba mechaninį griebtuvą, kad užtikrintų, jog plokštelė yra stabili ir nepažeista.
3. Plokščių tvarkymas: roboto ranka nugabena plokštelę į tikslinę vietą iš anksto nustatytu keliu. Šio proceso metu judesio valdymo sistema užtikrina, kad roboto ranka judėtų sklandžiai, o plokštelė nebūtų veikiama smūgių ar vibracijos.
4. Plokščių išdėstymas: roboto ranka tiksliai pastatys plokštelę į tikslinę padėtį, o galinis efektorius atlaisvins plokštelę, kad užbaigtų tvarkymo užduotį.
5. Grįžti į pradinę padėtį: roboto ranka grįžta į pradinę padėtį ir yra pasirengusi atlikti kitą valdymo užduotį.
Apibendrinant galima pasakyti, kad puslaidininkių gamyboje puslaidininkių gamyboje vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį, o dėl didelio tikslumo ir efektyvumo jie yra nepakeičiama įranga puslaidininkių gamybos procese.
