DLC deimantų panaši danga yra metastuojama amorfinė plona plėvelė, pasižyminti aukštos kokybės deimantų ir grafito savybėmis, pasižymi gero kietumo, šilumos laidumo, žemo trinties koeficiento, puikios elektros izoliacijos, didelio cheminio stabilumo ir kt. Privalumais ir yra plačiai naudojama mašinų gamyboje, biomedicine, elektronine įranga ir kita laukai. DLC danga daugiausia paruošia fizinio garų fazės kaupimosi metodu ir cheminio garų fazių kaupimosi metodu, ir ji gamina specialia kaupimo įranga. Toliau pateiktas trumpas įvadas į penkias dalis, sudarančias dangos nusėdimo įrangą.
1. Šildymo ir vandens aušinimo sistema
Šildymo sistema ir vandens aušinimo sistema yra tolygiai paskirstoma aplink kaupimo patalpą, o šildymo temperatūra, greitis ir vandens tūris yra valdomi ir reguliuojami, o atitinkamas aliarmo įtaisas yra sumontuotas; Besisukanti sistema yra kaupimosi kameros apačioje ir izoliuota izoliuojant keramiką, o sukimosi greitis yra kontroliuojamas ir reguliuojamas.
2. Vakuuminė sistema
Vakuuminę sistemą sudaro mechaninis siurblys, šaknų siurblys, difuzijos siurblys ir atitinkami valdymo vožtuvai ir matavimo elementai, kurie gali laisvai perjungti aukštą ir žemą vakuumą pagal proceso reikalavimus.
3. Dujų tiekimo sistema
Dujų tiekimo sistema dedama ant kaupimosi kameros viršaus, o dujų veislės apima H2, N2, AR, CHA, C2H2 ir Si turinčias dujas, o dvi sąsajos yra rezervuotos kaupimo kameros viršuje, kad ateityje būtų palengvinta kitų dujų veislių pridėjimas.
Norint gauti pereinamąjį sluoksnį, kuriame yra SI, SIH4 paprastai naudojamas kaip medžiagos dujos, tačiau SIH4 yra pavojingesnis, todėl mes pasirenkame mažiau pavojingas Si turinčias dujas kaip SI šaltinis dangos apdorojime.
4. Sukrovimo tikslinė sistema
Įranga turi du krovimo blokus, PVD ir PCVD, pagrindinis PCVD bloko ketinimas yra skirtas kauptis deimantui (DLC), pasirinktas maitinimo šaltinis yra impulsų moduliacijos maitinimo šaltinis, parametrai gali būti pakoreguoti po kitos, po to, kai sureguliuoja parametrus, DLC dengimo dengimo danga ir storį galima kauptis, o po to, kai buvo sureguliuoti parametrai, pagal DLC dengimą, atsižvelgiant į skirtingą kietimą ir storį, ir tai gali būti kaupiami, o pagal parametrus. taip pat gali būti padengtas ant sudėtingo ruošinio; Pagrindiniai PVD vieneto ketinimai yra šie: (1) skirtingų substratų skirtingi taikiniai gali būti pakeisti skirtingais taikiniais, ir gali būti sukurtos skirtingi klijų sluoksniai arba metalo leidžiamos DLC dangos, kuriose yra skirtingų veislių elementų; (2) Pakeitus taikinį, įvairioms kategorijoms gali būti sudarytos įvairios kompozicinės dangos „Funkcinio sluoksnio + DLC“.
5. Elektros valdymo sistema
Elektros valdymo sistema priima visą PLC aktyvųjį valdymą, įskaitant pagrindinį kompiuterį, PLC programuojamą valdiklį, adaptacijos keitiklį, valdymo maitinimo šaltinį, vakuuminio valdymo maitinimo šaltinį ir matavimo sistemą, oro tiekimo valdymo maitinimo šaltinį, temperatūros valdymo sistemą, aušinimo vandens aptikimo valdymo maitinimo šaltinį ir tt. Prieš atidarant baldą, dengimo procesas yra redaguojamas ir archyvuojama proceso redagavimo sąsajoje, o reikalingas procesas, o baldai bus atidaromi, o įranga bus paleista, o įranga bus aktyvi ir archyvuojama. realus laikas. Jei kyla problemų, įrenginys imsis iniciatyvos aliarmui ir pagal aliarmo lygį, įrenginys pasirinks „laukimo“ sąlygą arba tiesiogiai sustos ir toliau veiks, kai aliarmas bus pašalintas. Kiekvienos krosnies operacijos įrašai ir aliarmo įrašai yra aktyviai saugomi kompiuteryje, kad būtų lengva nuoroda. Remiantis reikalavimais, įrangą galima pakeisti iki galo rankiniu būdu, o dangos parametrus galima sureguliuoti pagrindinėje veikimo sąsajoje dengimo proceso metu.