Fizinio krovimo dujų fazės metodas yra pagrindinis PVD dangų paruošimo metodas, įskaitant vakuuminę dengimą, magnetronų dulkinimo ir lanko jonų plokštę, tarp kurių, kai jonų plyšimas naudojamas PVD dangoms paruošti, jonizacijos greitis yra aukšta, kaupimosi greitis yra greitas, o jos pranašumai yra didelės krintančios jonų energijos, aukštos plėvelės ir geros dangos kokybės. Tačiau ši PVD danga turi didelę dalelių užterštumą, o tai sukelia tokias problemas kaip šiurkšti dangos išvaizda, poringumo pridėjimas ir nestabili dangos funkcija, daranti įtaką klientų naudojimui. Štai kaip pagerinti PVD dangą su didelėmis dalelėmis.
1. Retųjų Žemės elementų įvedimas
Retųjų elementų įvedimas katodo taikiniuose ir PVD dangose, siekiant sumažinti jonų dengimo daleles ir pagerinti smulkiojo dangų tankį, ir pagerinti fizines ir mechanines dangų savybes ir aukštos temperatūros savybes per retos žemės modifikavimo mechanizmą, poveikis yra akivaizdus. Retas Žemė CE daro akivaizdų poveikį mažinant lašelius, o PVD danga, modifikuota retos žemės, ne tik turi nedidelį lašelių tankį, bet ir turi mažiau didelių lašelių. Retosios žemės CE dangos dalelių būklės gerinimo priežastis turėtų būti tiesiogiai susijusi su retos žemės progreso taikinių metalurgijos kokybe.
Retųjų žemės elementai, plačiai naudojami, yra CE metalurgijos procesas, skirtas metalo medžiagų savybių deginimo, desulfurizavimui ir grūdinimui. Metalurginė medžiagos kokybė ir funkcionalumas gali būti pakeltas įvedant tinkamą praskiestą elementą CE. Keletas aukštos kokybės tikslinės medžiagos porų, homogeninė kompozicija ir smulkūs grūdai padeda patikslinti iš katodo pagamintas daleles. Tai gali sumažinti medžiagos suskaidymo ir purslų katodinio lanko taškinio mikromelto baseino sritį, atsirandančią dėl aukšto slėgio, atsirandančio dėl staigaus dujų išsiplėtimo uždarose porose aukštoje temperatūroje. Vengdamas silpnai surištų medžiagų, atsirandančių dėl dalinių elektrinių laukų ar termoelastinio įtempio, žlugimo ir sušvelninimo ar sušvelninimo, tikslinis išdėstymas gali padėti sumažinti didelių dalelių generavimą. Be CE, retųjų žemės elementų, tokių kaip Y ar LA, turi panašią įtaką.
2. Nauja elektromagnetinė sistema
Šis įgūdis buvo svarstomas iš patobulintų katodo taikinių ir optikos plazmoje projektavimo. Idėja yra suprojektuoti naują magnetinio lauko struktūrą taikinio viduje ir išorėje, įskaitant specialų elektromagnetinį ritę ir nuolatinį magnetą su konkrečia struktūra, kad jis sudarytų arkinę magnetinio lauko sistemą ant katodo taikinio, kad būtų galima valdyti ir sureguliuoti veikiantį katodo lanko tašką, pagreitinti jo judesio greitį ir sutrumpinti ARC vietos vietą tam tikrame tikslo paviršiaus taške.
3. Prie įrenginio pridėkite pertvarą
Analizė atskleidžia, kad vyraujantis didžiųjų dalelių pasiskirstymas yra 60 laipsnių kampu į lanko taikinio paviršių; Taigi, priešais ARC taikinį, gali būti dedamas pertvara, kad būtų sumažintas didelis dalelių plėvelės sluoksnio taršos lygis. Nors didelių dalelių dydis buvo mažesnis nei 2 μm, didelių dalelių tankis sumažėjo nuo 2,3 x 105\/mm2 iki 1,4 x 103\/mm2 be pertvaros iš esmės nepasikeitė. Bet kai trinkelė bus įdiegta, PVD dangos tikslas kenčia ir sumažina kaupimosi greitį.
4. Tuščiavidurio katodo įgūdžiai
Lanko jonų dengimo dengimo dangoje įdiegtas tuščiavidurio katodo sklindantis elektronų pluoštas, siekiant sumažinti paruoštos dangos didelį dalelių dydį, tačiau šiam metodui reikia pridėti tuščiavidurio katodo įtaisą įprastoje jonų dengimo įrangoje.
5. ARC MAGNETINIS FILTRAS
Plasmos įvedimo į kaupimosi kamerą metodas naudojant ARC magnetinį filtrą, kad būtų galima atskirti dideles daleles nuo plazmos, pasiekė gerą poveikį, tačiau šio metodo kaupimosi greitis yra daug mažesnis nei įprasto lanko jonų dangos.
Aukščiau pateiktas būdas patobulinti dideles PVD dangos daleles, ruošiant PVD dangą, galite remtis aukščiau išvardytais būdais, kad įsitikintumėte, jog dangos paviršiaus struktūra yra gerai, poringumas yra žemas, o savybės yra stabilios, kad dangos panaudojimas būtų geresnis.