Dengimo produktai yra plačiai naudojami įvairiose srityse, tai dažniausiai naudojama kieta plėvelė, kurią galima naudoti apsaugai, izoliacijai ir dekoravimui bei kitiems tikslams. Jo paruošimo metodas daugiausia yra fizinės kaupimosi technologijos ar cheminės kaupimosi technologijos naudojimas metalo ar nemetalinių junginių padengimui ant substrato medžiagos, sudaro dangą. Tačiau dangų gamyba sukuria vidinius įtempius, turinčius įtakos dangų naudojimui. Todėl, norint išvengti įvairių streso sukeltų gedimų, būtina imtis atitinkamų priemonių, kad būtų pašalintas ar susilpnėjęs įtempis dangos struktūroje.
1. Pasirinkite tinkamą substratą
Pasirinkus dangą ir pagrindinę medžiagą su tuo pačiu šiluminio išsiplėtimo koeficientu, padėsite visiškai pašalinti šiluminį įtempį dangoje. Antrasis yra suderinti dangos matavimo ar taikymo temperatūrą su plėvelės formavimo temperatūra. Be to, temperatūros poveikis daro šiluminį stresą - plėvelės įtempio komponentą, lengvai kontroliuojamą; Taigi, įsitraukimas į vidinį stresą keičiant šiluminį stresą padeda sustiprinti plėvelės mikroskopinį stresą.
2. Ar terminis atkaitinimo apdorojimas
Įvairūs dangos defektai yra pagrindinės vidinio įtempio priežastys. Šie trūkumai paprastai yra dešinės ir neteisingos pusiausvyros trūkumai, todėl jie linkę dingti savarankiškai. Tačiau norint išnykti, išorinis pasaulis privalo kovoti su aktyvacijos energija. Kai danga apdorojama šilumos, išorinė šilumos energija yra naudojama, o daugelis ne pusiausvyros defektų išnyksta, taigi dengimo vidinis įtempis žymiai sumažėja.
3. Pridėkite centrinę dangą
Filmo įtempių charakteristikos yra vienodos padengiant daugybę aukšto refleksijos, antireflekcijos ar kitų dielektrinių plėvelių sluoksnių; Tai padidins viso plėvelės sluoksnio stresą ir lems dangą, kad nutrūktų ar nukritų. Tarp plėvelės sluoksnių, naudojant deformacijos atšaukimo koncepciją, kaupiasi plėvelės sluoksnis, o procesas yra kontroliuojamas, kad įtempio būsena būtų priešinga plėvelės struktūrinei dangai, taip sumažinant streso padarytą pažeidimą.
Be to, kai matricos ir dangos medžiagos savybės yra labai skirtingos, tai yra, sąsajos savybės yra nenuoseklios, jų sąveika yra didelė, o ši jėga turi tendenciją priversti abi medžiagas sąveikauti, todėl danga sukuria didelę deformaciją, sudarydama vidinį įtempį. Tokiu atveju pirmiausia gali būti atliktas substrato paviršiaus apdorojimas, tai yra, pasukusieji gali būti pridedami siekiant padidinti paviršiaus drėgnumą, kuris vaidina pereinamąjį vaidmenį dangos ir substrato struktūroje, palaiko struktūros tęstinumą, o po to sumažina stresą.
4. Pakeiskite proceso kriterijus
Proceso parametrų pakeitimas dengimo kaupimosi procese tiesiogiai paveiks liekamojo įtempio lygį plėvelėje; Taigi, įtempio dydį plėvelėje galima reguliuoti modifikuojant proceso parametrus, įskaitant substrato temperatūrą, darbinį oro slėgį ir kaupimosi greitį dangos metu; Net streso pobūdis bus pakeistas.
For example, for sputtering coating, with the increase of sputtering pressure in the reaction chamber, the concentration of high-energy ions (particles) increases, so that the gas molecules collide with each other, and then the energy of the gas molecules is reduced, the atomic shot peening effect is weakened, and the inclined component of the accumulated particle flow is increased, resulting in the loose membrane structure, and the compressive stress becomes smaller and mažesnis, tampa tempimo stresu, o tempimo įtempis pirmiausia padidėja, o po to mažėja.
5. Pagerinkite sukravimo įgūdžius
Kinetinė sukrautų atomų energija taip pat skiriasi, o sąsajos dispersijos sluoksnio struktūros defektų koncentracija ir plėvelės sluoksnio struktūra keičiasi magnetrono dulkinimo dulkinimo dangos keičiant RF šaltinio galios pokyčius. Taigi likusi įtampa dangoje keičiasi.